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概述
EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是最受欢迎的泵，可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。
应用
· 半导体制程
· 真空蒸馏
· 真空包装
· 钢脱气
· 薄膜覆层
· 真空冶金
· 低密度风洞
· 空间模拟
· 真空浸渍
· 油干燥和脱气
· 制药冷冻干燥
· CO2 激光
功能和优势
· 适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。
· 它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
· EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：
o 安静的无振动运行。
o 牢靠且防腐蚀。
o 先进的轴封技术，处理舱中不会出现油污染
· 防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
· 经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到最低。
· 轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要最高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
· 动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是先进技术设备的制造商所需要的。
技术数据
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型号 |
EH250 |
EH500 |
EH1200 |
EH2600 |
EH4200 |
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排量（工作容积） |
310 m3h-1 / 185 ft3min-1 |
505 m3h-1 / 300 ft3min-1 |
1195 m3h-1 / 715 ft3min-1 |
2590 m3h-1 / 1525 ft3min-1 |
4140 m3h-1 / 2440 ft3min-1 |
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使用前级泵时的有效抽速 |
240 m3h-1 / 141 ft3min-1 |
350 m3h-1 / 206 ft3min-1 |
840 m3h-1 / 495 ft3min-1 |
1750 m3h-1 / 1031 ft3min-1 |
3100 m3h-1 / 1825 ft3min-1 |
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泵的压力差 |
0-180 mbar/0-140 Torr |
0-110 mbar/0-83 Torr |
0-90 mbar/0-68 Torr |
0-80 mbar/0-60 Torr |
0-60 mbar / 0-45 Torr |
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进气口连接 |
ISO63 |
ISO100 |
ISO160 |
ISO160 |
ISO250 |
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出口连接 |
ISO40 |
ISO63 |
ISO100 |
ISO100 |
ISO100 |
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转速 |
0-2900 rpm |
0-2900 rpm |
0-2900 rpm |
0-2900 rpm |
0-2900 rpm |
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连续进气口工作压力 |
0-1000 mbar/0-760 Torr |
0-1000 mbar/0-760 Torr |
0-1000 mbar/0-760 Torr |
0-1000 mbar/0-760 Torr |
0-1000 mbar/0-760 Torr |
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最大出口压力 |
1000 mbar/760 Torr |
1000 mbar/760 Torr |
1000 mbar/760 Torr |
1000 mbar/760 Torr |
1000 mbar/760 Torr |
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推荐的前级泵 |
GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80 |
GV80，E2M80 |
GV160、GV250、 |
GV250、GV400、 |
GV400、E2M275 |
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电机功率 |
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碳氢化合物 |
2.2 kW / 3 hp |
2.2 kW/3 hp |
3 kW/4 hp |
11 kW/15 hp |
11 kW/15 hp |
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PFPE |
1.5 kW / 2 hp |
1.5 kW/2 hp |
3 kW/4 hp |
7.5 kW/10 hp |
11 kW/15 hp |
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ATEX |
2.2 kW |
2.2 kW |
3 kW |
11 kW |
11 kW |
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防爆 |
3 hp |
3 hp |
4 hp |
15 hp |
15 hp |
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环境温度范围 |
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工作 |
5 至 40°C/40 至 104°F |
5 至 40°C/40 至 104°F |
5 至 40°C/40 至 104°F |
5 至 40°C/40 至 104°F |
5 至 40°C/40 至 104°F |
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存储 |
-10 至 80°C/14 至 176°F |
-10 至 80°C/14 至 176°F |
-10 至 80°C/14 至 176°F |
-10 至 80°C/14 至 176°F |
-10 至 80°C/14 至 176°F |
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最大工作湿度 |
90% RH |
90% RH |
90% RH |
90% RH |
90% RH |
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推荐用油 |
Ultragrade 20 |
Ultragrade 20 |
Ultragrade 20 |
Ultragrade 20 |
Ultragrade 20 |
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油容量 |
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齿轮箱 |
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1.25 l/1.3 qt |
3.5 l/3.3 qt |
3.5 l/3.3 qt |
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联轴器盖 |
1.5 l/1.6 qt |
1.5 l/1.6 qt |
1.5 l/1.6 qt |
6.5 l/7 qt |
6.5 l/7 qt |
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轴封储油器 |
0.125 l/0.25 qt |
0.125 l/0.25 qt |
0.125 l/0.25 qt |
1.5 l/1.4 qt |
1.5 l/1.4 qt |
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重量 |
61 kg/134 lb |
74 kg/163 lb |
74 kg/163 lb |
308 kg/679 lb |
400 kg / 882 lb |
